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RTO焚燒爐半導體廢氣處理

來源：未知 發(fā)布日期：2022-07-26 15:37關注次數(shù)：
 RTO焚燒爐半導體廢氣處理 
1、 半導體廢氣處理組件
半導體工業(yè)廢氣的主要成分是有機廢氣和酸堿廢氣。有機成分：非甲烷碳氫化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿成分：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工業(yè)排放標準
3、 半導體廢氣處理方法
一般半導體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下：
（1） 預處理階段：采用噴淋塔對廢水進行預處理，去除粉塵和溶于水的有害氣體。
（2） 主要處理階段：這一階段，較為常用和有效的方法有：紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。
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